Запис Детальніше

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене

Vernadsky National Library of Ukraine

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
 
Creator Литовченко, С.В.
Нечипоренко, Е.П.
Чишкала, В.А.
Шеремет, В.И.
Широков, Б.М.
 
Subject Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
 
Description Исследован процесс аномально быстрого образования и роста силицидов молибдена при активированном диффузионном насыщении. Предложен механизм регулирования тепловыделения в реакционной зоне. Рассмотрены случаи примесного и беспримесного инициирования процесса.
Досліджено процес аномально швидкого утворення та зростання силіцидів молібдену під час активованого дифузійного насичення. Запропоновано механізм регулювання тепловиділення в реакційній зоні. Розглянуто випадки домішкового та бездомішкового ініціювання процесу.
The process of molybdenum silicides anomalous rapid forming and growth was studied. The heat emission control mechanism in reactionary zone was offered. The cases of initiation process by doping of admixtures and without them were considered.
 
Date 2015-03-13T16:58:42Z
2015-03-13T16:58:42Z
2001
 
Type Article
 
Identifier Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене / С.В. Литовченко, Е.П. Нечипоренко, В.А. Чишкала, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 4. — С. 108-110. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
1562-6016
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78263
533.9
 
Language ru
 
Relation Вопросы атомной науки и техники
 
Publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України