Травление поверхности металлов в плазме аргона
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Травление поверхности металлов в плазме аргона
|
|
| Creator |
Капустин, В.Л.
Широков, Б.М. |
|
| Subject |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
|
|
| Description |
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в разряд мощности, от потенциала на подложке.
Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім високочастотнім індукційнім розряді аргону. Визначена залежність швидкості травлення Mo, W, Ta, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності потенціалу на підкладці. The treatment process of a metals surface in the dependent high-frequency induction discharge of argon is investigated. The dependence of an etching velosity of Mo, W, Ta and steel Õ18Í10Ò from a chamber pressure in the induction discharge power and a potential on a substrate is determined. |
|
| Date |
2015-03-13T21:41:59Z
2015-03-13T21:41:59Z 2001 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 114-115. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78356 621.793.14 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|