Installation for gas-phase deposition of materials
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Installation for gas-phase deposition of materials
|
|
| Creator |
Lonin, Yu.F.
Pilipets, Yu.O. Khovansky, N.A. Sheremet, V.I. Shirokov, B.M. |
|
| Subject |
Применение ускоренных пучков
|
|
| Description |
The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by flow-around of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated. Розроблена установка для газофазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку парагазової суміші в реакційному об’ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Досліджені процеси осадження вольфраму та карбіду бора. Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических па- раметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Иссле- дованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора. |
|
| Date |
2015-03-25T20:50:35Z
2015-03-25T20:50:35Z 2004 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Installation for gas-phase deposition of materials / Yu.F.Lonin, Yu.O.Pilipets, N.A.Khovansky, V.I.Sheremet, B.M.Shirokov // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 1. — С. 221-222. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.
1562-6016 PACS: 29.17.+w http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79080 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|