Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems
|
|
| Creator |
Aksenov, I.I.
|
|
| Subject |
Low temperature plasma and plasma technologies
|
|
| Description |
This article is a brief historical review of R&D carried out by the KIPT scientists in the field of magnetic filtering of vacuum-arc plasma flows to be applied in thin film deposition technology.
|
|
| Date |
2015-03-30T09:23:13Z
2015-03-30T09:23:13Z 2002 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems / I.I. Aksenov // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 5. — С. 139-141. — Бібліогр.: 26 назв. — англ.
1562-6016 PACS: 52.77.-j http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79281 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|