The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge
|
|
| Creator |
Bogatov, N.A.
|
|
| Subject |
Low temperature plasma and plasma technologies
|
|
| Description |
The dependence of ionization frequency in a stationary radio-frequency microdischarge on plasma density and DC voltage applied to the discharge plasma is found. Calculation is fulfilled for a plane geometry in assumption of uniformity of radio-frequency electric field.
Розрахована залежність частоти іонізації в стаціонарному високочастотному мікророзряді від концентрації плазми і постійної напруги, прикладеної до плазми розряду. Розрахунок виконаний для плоскої геометрії в припущенні однорідності високочастотного поля. Рассчитана зависимость частоты ионизации в стационарном высокочастотном микроразряде от концентрации плазмы и постоянного напряжения, приложенного к плазме разряда. Расчет выполнен для плоской геометрии в предположении однородности высокочастотного поля. |
|
| Date |
2015-04-04T19:47:23Z
2015-04-04T19:47:23Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge / N.A. Bogatov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 191-193. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.
1562-6016 PACS: 52.80.P http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79798 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|