Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
|
|
| Creator |
Азаренков, Н.А.
Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. |
|
| Subject |
Физика и технология конструкционных материалов
|
|
| Description |
Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения.
Вивчено особливості формування силіцидних плівок на молібдені при конденсації інгредієнтів, отриманих випаровуванням або розпиленням чистих дісиліцидних компонентів. Проаналізована морфологія і склад отриманих конденсатів залежно від технологічних параметрів процесу осадження. The features of the silicide films’ formation on molybdenum interface under the condensation of ingredients, which are obtained in evaporation or sputtering of pure disilicide components, are studied. The morphology and composition of the condensates obtained are analyzed in dependence on the technological parameters of the deposition process. |
|
| Date |
2015-04-09T08:26:54Z
2015-04-09T08:26:54Z 2014 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79940 538.9:539.231:621.793 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|