Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия
|
|
| Creator |
Журавлев, А.Ю.
Глушко, П.И. Капустин, В.Л. Семенов, Н.А. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. |
|
| Subject |
Краткие сообщения
|
|
| Description |
Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для термоэлектрических преобразователей энергии. Исследована кинетика осаждения Si-Ge-сплавов. Присутствие небольших добавок германия интенсифицирует процесс осаждения кремния. Определение концентрации германия проводилось ядерно-физическим методом. Микрорентгеноспектральные исследования равномерности осаждения свидетельствуют о высокой гомогенности полученных сплавов
Методом сумісного газофазного осадження при пониженому тиску одержано щільні полікристалічні конденсати Si-Ge-сплавів з концентрацією германію від 5 до 30 %, для використання в якості матеріалів для термоелектричних перетворювачів енергії. Досліджено кінетику осадження Si-Ge-сплавів. Присутність невеликих добавок германію интенсифікує процес осадження кремнію. Визначення концентрації германію проводилось ядерно-фізичним методом. Мікрорентгеноспектральні дослідження рівномірності осадження засвідчили високу гомогенність одержаних сплавів. Dense polycrystallic condensates of Si-Ge alloys were grown by low pressure CVD intended for usage as materials for thermoelectric energy converters. The kinetics of a Si-Ge deposition is researched. The presence of the small amounts of germanium intensifies the process of a silicon deposition. The determination of germanium concentration in the samples was made via the nuclear physics technique. The examination, made in the microanalyzer, attested to a high homogeneity of the Si-Ge condensates. |
|
| Date |
2015-04-16T05:47:05Z
2015-04-16T05:47:05Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия / А.Ю. Журавлев, П.И. Глушко, В.Л. Капустин, Н.А. Семенов, Н.А. Хованский,
В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 241-242. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80342 669.094.54:661.87.621:661.668 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|