Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films
|
|
| Creator |
Vlasenko, О.V.
Odnodvorets, L.V. Protsenko, I.Yu. |
|
| Subject |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
|
|
| Description |
Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные характеристики и следующие рабочие параметры: сопротивление на квадрат площади 0,3 Ом/м² и термический коэффициент сопротивления 6∙10⁻⁴ К⁻¹. . Запропоновано застосування методу пошарової конденсації з наступним відпалюванням від 300 до 900 К для формування омічних контактів на основі плівок Fe і Ge. Проведенo дослідження мікроструктури і фазового складу контактних систем Fe/Ge, для яких отримано симетричні лінійні вольт-амперні характеристики та наступні робочі параметри: опір на квадрат площі 0,3 Ом/м² і термічний коефіцієнт опору 6∙10⁻⁴ К⁻¹. Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные характеристики и следующие рабочие параметры: сопротивление на квадрат площади 0,3 Ом/м² и термический коэффициент сопротивления 6∙10⁻⁴ К⁻¹. |
|
| Date |
2015-04-16T10:28:42Z
2015-04-16T10:28:42Z 2014 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films / О.V. Vlasenko, L.V. Odnodvorets, I.Yu. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 130-133. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.
1562-6016 PACS: 68.37.-d, 13.40.-f http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80344 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|