Запис Детальніше

Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации

Vernadsky National Library of Ukraine

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации
 
Creator Гончаров, И.Ю.
Колпаков, А.Я.
Камышанченко, Н.В.
 
Subject Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
 
Description Представлены результаты исследований начальной стадии роста углеродных алмазоподобных пленок, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Методом сканирующей зондовой микроскопии изучена динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия в диапазоне толщин от 100 до 1000 нм. С использованием программного обеспечения сканирующего зондового микроскопа «Smena-A» произведен расчет степени шероховатости в зависимости от толщины. Установлено процентное соотношение нановыступов различных размеров на поверхности углеродных покрытий различных толщин. По данным эксперимента поверхность конденсата квалифицирована как фрактальная и проведен фрактальный анализ поверхности. Предпринята попытка объяснения механизма образования нановыступов на основе существующих моделей.
Представлено результати досліджень початкової стадії росту вуглецевих алмазоподібних плівок, отриманих імпульсним вакуумно-дуговим методом на кремнії. Методом скануючої зондової мікроскопії вивчена динаміка росту нановиступів на поверхні вуглецевого покриття в діапазоні товщин від 100 до 1000 нм. З використанням програмного забезпечення скануючого зондового мікроскопа «Smena-A» зроблений розрахунок ступеня шорсткості залежно від товщини. Встановлено процентне співвідношення нановиступів різних розмірів на поверхні вуглецевих покриттів різних товщин. По даним експерименту поверхня конденсату кваліфікована як фрактальна й проведений фрактальний аналіз поверхні. Почато спробу пояснення механізму утворення нановиступів на основі існуючих моделейоделей.
Results are presented on investigation of initial growth stages diamond-like carbon coating produced by pulse vacuum-arc
method on silicon. Study dynamics of growth nanopeak on a surface of carbon coating in range of thickness from 100 up to
1000 nm by use method of scanning probe microscopy (SPM). About use of the software scanning probe microscope “SMENAA”
to make a calculation roughness depending on thickness. The percent proportion nanopeak of the different sizes on a surface
of carbon coatings of different thickness is established. On datas of experiment the surface of a condensate is qualified as fractal
and the fractal analysis of a surface is conducting. To make an attempt of argument of formation nanopeak on the basis of the
existing model.
 
Date 2015-04-19T14:31:43Z
2015-04-19T14:31:43Z
2005
 
Type Article
 
Identifier Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации / И.Ю. Гончаров, А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 168-172. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
1562-6016
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80569
621.793.00
 
Language ru
 
Relation Вопросы атомной науки и техники
 
Publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України