Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
|
|
| Creator |
Баранов, А.E.
Вострикова, Е.А. Елизаров, Л.И. Иванов, А.А. Ливадный, А.О. Пастухов, А.Н. Пташник, А.А. |
|
| Subject |
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
|
|
| Description |
Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов создания автоэмиссионных углеродных катодов с большой плотностью эмиссионных центров.
У роботі розглядається можливість отримання негативних іонів водню при плазмовому травленні вуглецю у водневій плазмі пучково-плазмового розряду. Перспективність використання пучково- плазмового розряду для травлення вуглецю пов’язана з тим, що плазмове травлення є одним із способів створення автоемісійних вуглецевих катодів з високою густиною емісійних центрів. In this paper it is considered a possibility of a hydrogen negative ion obtainment at hydrogen plasma etching of carbon into a beam-plasma discharge. The usage perspective of beam-plasma discharge for carbon etching is connected with this fact that a plasma etching is one of a way on the auto emission carbon cathodes with the emission high density centers. |
|
| Date |
2015-05-05T15:17:29Z
2015-05-05T15:17:29Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
1562-6016 PACS: 81.20.Ka http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81102 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|