Устройства финишной очистки технологических газов на основе нераспыляемых геттеров из сплавов Zr-Al, Zr-Fe, Hf-Fe
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Устройства финишной очистки технологических газов на основе нераспыляемых геттеров из сплавов Zr-Al, Zr-Fe, Hf-Fe
|
|
Creator |
Ажажа, В.М.
Ажажа, Р.В. Вьюгов, П.Н. Свинаренко, А.П. Шулаев, В.М. |
|
Subject |
Чистые материалы и вакуумные технологии
|
|
Description |
Описаны устройства глубокой финишной очистки технологических газов Ar, He, Ne, H₂, N₂. Предложены геттерные материалы, используемые для этих целей. Приведены результаты масс-спектрометрических исследований состава газов по поглощаемым газам.
Описані пристрої глибокого фінішного очищення технологічних газів Ar, He, Ne, H₂, N₂. Запропоновані гетерні матеріали, що використовуються для цієї мети. Приведені результати мас-спектрометричних досліджень складу газів по газах, що поглинаються. Means of deep final purification of technological gases Ar, He, Ne, H₂, N₂ are described. Getter materials that are used for this purpose are proposed. The results of mass-spectrometric researches of gases composition on absorbent gases are given. |
|
Date |
2015-05-14T18:19:52Z
2015-05-14T18:19:52Z 2006 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Устройства финишной очистки технологических газов на основе нераспыляемых геттеров из сплавов Zr-Al, Zr-Fe, Hf-Fe / В.М. Ажажа, Р.В. Ажажа, П.Н. Вьюгов, А.П. Свинаренко, В.М. Шулаев // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 26-29. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81315 66.074:661.93:533:669.296.5’12 |
|
Language |
ru
|
|
Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|