Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
|
|
| Creator |
Точилін, С.Д.
|
|
| Subject |
Чистые материалы и вакуумные технологии
|
|
| Description |
Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів. Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации поверхности полупроводниковых материалов. The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory. The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials surface. |
|
| Date |
2015-05-14T18:29:03Z
2015-05-14T18:29:03Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.
1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81320 66.012.1; 535.361 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|