Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
|
|
| Creator |
Dakhov, A.N.
Dudin, S.V. |
|
| Subject |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
|
|
| Description |
Results of actinometric study of oxygen dissociation in ICP source are presented. For atomic oxygen the emission lines of 844.6 nm was chosen having low impact of dissociative excitation. Actinometer gas in the experiments was argon, with emission line of 750.4 nm. Measurements of the degree of oxygen dissociation were conducted depending on the RF power supplied to the ICP source as well as on the oxygen gas pressure. The dissociation degree varies from few percent to 40 % depending on gas pressure.
Представлены результаты актинометрического изучения диссоциации кислорода в источнике плазмы на базе индукционного разряда. Для атомарного кислорода была выбрана линия излучения 844, 6 нм, не подверженная существенному воздействию диссоциативного возбуждения. В качестве газа-актинометра в экспериментах использовался аргон с линией излучения 750,4 нм. Были проведены измерения степени диссоциации кислорода в зависимости от ВЧ-мощности, подводимой к источнику плазмы, а также от давления кислорода. Установлено, что степень диссоциации меняется от нескольких процентов до 40 % в зависимости от давления газа. Представлено результати актинометричного вивчення дисоціації кисню в джерелі плазми на базі індукційного розряду. Для атомарного кисню була обрана лінія випромінювання 844, 6 нм, не схильна до істотного впливу дисоціативного збудження. В якості газу-актинометра в експериментах використовувався аргон з лінією випромінювання 750,4 нм. Були проведені вимірювання ступеня дисоціації кисню в залежності від ВЧ-потужності, що підводиться до джерела плазми, а також від тиску кисню. Встановлено, що ступінь дисоціації змінюється від декількох відсотків до 40 % залежно від тиску газу. |
|
| Date |
2015-05-22T17:14:59Z
2015-05-22T17:14:59Z 2014 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source / A.N. Dakhov, S.V. Dudin // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 167-170. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
1562-6016 PACS: 52.70.Kz http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81932 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|