About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
|
|
| Creator |
Hladkovskiy, V.V.
Fedorovich, О.А. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. |
|
| Subject |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
|
|
| Description |
The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, discharge RF voltage drops are obtained.
Экспериментально исследованы особенности образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах (ПХР) с управляемыми магнитными полями. Получены зависимости напряжений автосмещения от величин и конфигураций магнитных полей в ПХР, а также от давлений, расходов газов, токов в разрядах, падений ВЧ-напряжений на разрядах. Експериментально досліджені особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах (ПХР) з керованими магнітними полями. Отримано залежності напруги автозміщення від величин і конфігурацій магнітних полів в ПХР, а також від тисків, витрат газів, струмів у розрядах, падінь ВЧ-напруг на розрядах. |
|
| Date |
2015-05-25T09:58:44Z
2015-05-25T09:58:44Z 2015 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.А. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
1562-6016 PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82118 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Institute for Nuclear Research of NASU
|
|