Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film
|
|
| Creator |
Voitsenya, V.S.
Masuzaki, S. Motojima, O. Sagara, A. Jacob, W. |
|
| Subject |
Plasma dynamics and plasma wall interaction
|
|
| Description |
The short review is done of published data on impact of plasma produced in the N₂+H₂ mixture on carbon and organic films. It is concluded that such plasma can be much more effective in cleaning of the walls of fusion devices from a carbon-based contaminating deposit in comparison with plasmas of discharges in H₂, Ar or He. |
|
| Date |
2015-05-25T16:01:19Z
2015-05-25T16:01:19Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film / V.S. Voitsenya, S. Masuzaki, O. Motojima, A. Sagara, W. Jacob // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 141-143. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.
1562-6016 PACS: 82.33.Xj http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82153 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|