Селективні процеси при квазірівноважній стаціонарній конденсації міді та алюмінію
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Селективні процеси при квазірівноважній стаціонарній конденсації міді та алюмінію
|
|
| Creator |
Корнющенко, Ганна Сергіївна
Корнющенко, Анна Сергеевна Korniushchenko, Hanna Serhiivna |
|
| Subject |
текстура зародження
нанокластери квазірівноважна конденсація текстура зарождения нанокластеры квазиравновесная конденсация nucleation texture nanoclusters quasi-equilibrium condensation |
|
| Description |
Дисертацію присвячено вивченню закономірностей структуро-утворення шарів металів у квазірівноважних стаціонарних умовах на прикладі Cu та Al залежно від таких основних технологічних параметрів процесу конденсації, як час конденсації, тиск робочого газу та потужність розряду. Досліджується вплив структурної та польової селективностей на структуру та фізичні властивості конденсатів. Проаналізовані фізичні процеси при роботі накопичувальних іонно-плазмових систем і їх вплив на структуроутворення. У роботі створена математична модель, що описує самоорганізацію квазірівноважних умов конденсації. Використовуючи квазірівноважну конденсацію, у роботі були вивчені механізми структуроутворення надпоруватих мікро- і наносистем Al і Cu залежно від вкладу польової та структурної селективностей. // Русск. версия: Диссертация посвящена изучению закономерностей структурообразования слоев Cu и Al в квазиравновесных стационарных условиях конденсации. Исследуется влияние структурной и полевой селективностей на механизмы формирования трехмерных низкоразмерных систем. На базе полого катода, совмещенного с планарным магнетроном, создана накопительная ионно-плазменная система, в которой происходит самоорганизация предельно слабых стационарных пересыщений. Основой такой самоорганизации является снижение энергии химических связей до эффективного численного значения, накопление конденсируемого вещества возле ростовой поверхности до уровня квазиравновесного состояния и нелинейная взаимозависимость между пересыщением и температурой конденсации. Впервые установлено, что существующие до настоящего времени традиционные представления о механизме конденсации металлов в условиях Фольмера-Вебера ограничиваются только достаточно высокими пересыщениями, а предельно близкие к равновесным условия и созревание по Оствальду позволяют формировать статистически однородные cистемы нанокластеров. Наличие электрического поля над поверхностью роста и осаждение ионизированных атомов способствуют проявлению полевой селективности и, как следствие, формированию структурных форм в виде мезопористых поликристаллов. Показано, что процесс структурообразования слоев Cu и Al, как правило, проходит в два этапа. Так, на этапе зарождения конденсата на стекле формируется базовый непористый слой, хорошо выраженная текстура зарождения которого определяется параллельностью (111) Cu и Al поверхности подложки. Установлено, что самоорганизация предельно слабых стационарных пересыщений в накопительных ионно-плазменных системах определяет формирование низкоразмерных систем за счет сращивания разнонаправленно растущих кристаллов по отношению к базовому слою или зарождения и роста на базовом слое трехмерных систем слабосвязанных между собой ограненных микро- или нанокристаллов. Kornyushchenko A.S. Selective processes under quasi-equilibrium stationary condensation of copper and aluminium. – Manuscript. Thesis for a Doctor of philosophy degree (PhD) in physics and mathematics, speciality 01.04.07 – Solid-State Physics. – Sumy State University, Sumy, 2009. The dissertation is devoted to investigation of regularities of structure formation of metal layers under quasi-equilibrium stationary conditions on the example of Cu and Al depending on basic technological parameters of condensation process such as condensation time, working gas pressure and discharge power. The influence of structure and field selectivity on condensate structure and physical properties has been investigated. The physical processes which take place at work of accumulating ion-plasmous systems and their impact on structure formation have been analyzed. The mathematical model describing self-organization of quasi-equilibrium condensation conditions has been developed in the work. The mechanisms of structure formation of high-porous micro- and nanosystems of Al and Cu depending on contribution of structure and field selectivity have been studied using quasi-equilibrium condensation. Key words: nucleation texture, habitus of crystals, high-porous metal layers, nanoclusters, quasi-equilibrium condensation, accumulating ion-plasmous sputterers. |
|
| Publisher |
Сумський державний університет
|
|
| Date |
2010-12-15T11:35:39Z
2010-12-15T11:35:39Z 2009 |
|
| Type |
Synopsis
|
|
| Identifier |
Корнющенко, Г. С. Селективні процеси при квазірівноважній стаціонарній конденсації міді та алюмінію [Текст] : автореферат... канд. фіз.-мат. наук, спец.: 01.04.07 - фізика твердого тіла / Г. С. Корнющенко. - Суми : СумДУ, 2009. - 20 с.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/309 |
|
| Language |
uk
|
|