Процеси фазоутворення у багатошарових плівкових системах на основі алюмінію та титану
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Процеси фазоутворення у багатошарових плівкових системах на основі алюмінію та титану
|
|
| Creator |
Воробйов, Сергій Ігорович
Степаненко, Андрій Олександрович Чорноус, Анатолій Миколайович Шабельник, Юрій Михайлович Воробьев, Сергей Игоревич Vorobiov, Serhii Ihorovych Шабельник, Юрий Михайлович Shabelnyk, Yurii Mykhailovych Чорноус, Анатолий Николаевич Chornous, Anatolii Mykolaiovych Степаненко, Андрей Александрович Stepanenko, Andrii Oleksandrovych |
|
| Subject |
плівкові системи
електрофізичні властивості фазовий склад пленочные системы электрофизические свойства фазовый состав thin films electro-physical properties phase composition |
|
| Description |
Досліджено процеси фазоутворення у плівкових системах на основі Ті й Аl, яких одержано пошаровою конденсацією на підложжя, що переміщується з високою частотою між термічними випарниками відповідних первнів. Показано, що формування фази Ті3А1 відбувається у процесі конденсації системи Ті0,8А10,2, а фази ТіА13 — після відпалювання до 900 К плівкової системи Ті0,2А10,8. Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями таких плівкових систем. // Русск. версия: Исследованы процессы фазообразования в пленочных системах на основе Ті и А1, которые получены послойной конденсацией на подложку, перемещаемую с высокой частотой между термическими испарителями соответствующих элементов. Показано, что формирование фазы Ті3А1 происходит в процессе конденсации системы Ті0,8А10,2, а фазы ТіА13 — после отжига до 900 К пленочной системы Ті0,2А10,8. Установлена корреляция между фазовым составом и электрофизическими свойствами таких пленочных систем.
The phase formation in thin films based on Ti and Al is investigated. These film systems are fabricated by the layer-by-layer condensation on a substrate moving with a high frequency between the thermal evaporators of corresponding elements. As shown, the Ti3Al phase is formed by condensation of Ti0.8A10.2 system, and the TiAl3 phase is observed in the Ti0.2Al0.8 films after annealing at 900 K. Correlation between the phase composition and electro-physical properties of such films is revealed. |
|
| Publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
|
|
| Date |
2010-12-17T09:34:31Z
2010-12-17T09:34:31Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Процеси фазоутворення у багатошарових плівкових системах на основі алюмінію та титану [Текст] / С.І. Воробйов, А.О. Степаненко, А.М. Чорноус, Ю.М. Шабельник // Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishіe Tekhnol. 2009, т. 31, № 6, сс. 837-845.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/550 |
|
| Language |
uk
|
|