Вплив температурної обробки на електрофізичні властивості та фазовий склад двошарових плівок на основі титану і алюмінію або ніклю
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Вплив температурної обробки на електрофізичні властивості та фазовий склад двошарових плівок на основі титану і алюмінію або ніклю
|
|
| Creator |
Степаненко, Андрій Олександрович
Гричановська, Тетяна Михайлівна Чорноус, Анатолій Миколайович Hrychanovska, Tetiana Mykhailivna Гричановская, Татьяна Михайловна Chornous, Anatolii Mykolaiovych Чорноус, Анатолий Николаевич Stepanenko, Andrii Oleksandrovych |
|
| Subject |
плівкові системи
електрофізичні властивості фазовий склад пленочные системы электрофизические свойства фазовый состав thin films electro-physical properties phase composition |
|
| Description |
Досліджено вплив температурної обробки на питомий електричний опір, температурний коефіцієнт опору і фазовий склад двошарових плівкових систем на основі Ті й Аl та Ті й Nі, загальна товщина яких не перевищує 100 нм. Показано, що відпалювання зразків при Тв = 800 К призводить до твердофазних реакцій між А1 і оксидом Ті (плівки Ті/Аl) та Ті й Nі (плівки Nі/Ті), продуктами яких є ТіА13 і Nі3Ті (у зразках, відпалених до 900-1000 К, фіксуються фази NiТі і NiТі2). Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями двошарових плівкових систем. // Русск. версия: Исследовано влияние температурной обработки на удельное электрическое сопротивление, температурный коэффициент сопротивления и фазовый состав двухслойных пленочных систем на основе Ті и А1 или Ті и Nі, общая толщина которых не превышала 100 нм. Показано, что отжиг пленок при То = 800 К приводит к твердофазным реакциям между А1 и окислом Ті (пленки Ті/Аl) или Ті и Nі (пленки Nі/Ті), продуктами которых являются ТіА13 и Nі3Ті (в отожженных до 900-1000 К образцах фиксируются фазы NіТі и NіТі2). Установлена корреляция между фазовым составом и электрофизическими свойствами двухслойных пленочных систем.
Influence of temperature processing on resistivity, temperature coefficient of resistance and phase composition of two-layer films on the base of Ti and Al or Ti and Ni, whose total thickness did not exceed 100 nm, is investigated. As shown, the annealing at Tа = 800 K leads to solid-phase reactions between Al and TiO (Ti/Al films) or between Ti and Ni (Ni/Ti films), whose yields are TiAl3 and Ni3Ti (in the films, which were annealed at 900-1000 K, NiTi and NiTi2 phases are observed). Correlation between the phase composition and electrophysical properties of two-layer film systems is revealed. |
|
| Publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
|
|
| Contributor |
Степаненко, Андрей Александрович
|
|
| Date |
2010-12-17T09:36:23Z
2010-12-17T09:36:23Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Степаненко, А.О. Вплив температурної обробки на електрофізичні властивості та фазовий склад двошарових плівок на основі титану і алюмінію або ніклю [Текст] / А.О. Степаненко, Т.М. Гричановська, А.М. Чорноус // Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishіe Tekhnol. 2007, т. 29, № 9, сс. 1221-1229.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/551 |
|
| Language |
uk
|
|