Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами
|
|
| Creator |
Швец, Ульяна Станиславовна
Shvets, Uliana Stanislavivna Швець, Уляна Станіславівна |
|
| Subject |
эллипсометрия
еліпсометрія ellipsometry |
|
| Description |
В настоящей статье проанализированы существующие методы решения обратной задачи эллипсометрии. Рассмотрены проблемы, возникающие при решении данного рода задач. Указаны области применения каждого из них, а также их преимущества и недостатки. Выполнены численные моделирования тестовых задач, основанные на минимизации функционалов.
In the present paper current methods of the solution to inverse task of ellipsometry has been analysed. The problems which appear while resolving such kind of task have been considered. Both the spheres of usage of each of them and their proc and cons have been pointed out. Based on minimization of functional the numeric simulations of testing tasks have been done. |
|
| Publisher |
Издательство СумГУ
|
|
| Date |
2010-12-20T09:34:53Z
2010-12-20T09:34:53Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Швец, У.С. Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами [Текст] / У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2005. — №8(80). — С. 160-170.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/698 |
|
| Language |
ru
|
|