Запис Детальніше

Електрофізичні властивості та кристалічна структура плівок алюмінію

Electronic Archive of Sumy State University

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Електрофізичні властивості та кристалічна структура плівок алюмінію
 
Creator Басов, Андрій Геннадійович
Степаненко, Андрій Олександрович
Чорноус, Анатолій Миколайович
Басов, Андрей Геннадьевич
Basov, Andrii Hennadiiovych
Chornous, Anatolii Mykolaiovych
Чорноус, Анатолий Николаевич
Stepanenko, Andrii Oleksandrovych
Степаненко, Андрей Александрович
 
Subject властивості плівок алюмінію
свойства пленок алюминия
кристалічна структура
кристалическая структура
kristalicheskaya structure
електрофізичні властивості
электрофизические свойства
electro-physical properties
 
Description Проведено дослідження структурних характеристик і електрофізичних властивостей плівок алюмінію в інтервалі товщин 20-150 нм, отриманих при температурі підкладки 300 К та пройшовши термообробку до 870К. Показано. Що при температурі 82010 К спостерігається різке збільшення питомого електричного опору, ступінь якого залежить від товщини плівок. Здійснено розрахунок параметрів електроперенесення за лінеарізованою та ізотропною моделями Ательє, Тоссе і Пішар.
The structural and physical properties of thin aluminum films in interval of the thicknesses 20 - 150 nm, prepared at the temperature of the substrate 300 K and passed to 870 K are investigated. It is shown that at the temperature 820±10 К sharp increase of the electrical resistance exists, which degree depends on films thickness. The calculation of the electron transport parameters was done by the models of Tellier, Тosse and Pichard.
 
Publisher Видавництво СумДУ
 
Date 2010-12-20T09:43:45Z
2010-12-20T09:43:45Z
2005
 
Type Article
 
Identifier Басов, А.Г. Електрофізичні властивості та кристалічна структура плівок алюмінію [Текст] / А.Г. Басов, А.О. Степаненко, А.М. Чорноус // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2005. — №8(80). — С. 170-176.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/701
 
Language uk