Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях
|
|
| Creator |
Карпуша, Василий Данилович
Швец, Ульяна Станиславовна Швець, Уляна Станіславівна Shvets, Uliana Stanislavivna Karpusha, Vasyl Danylovych Карпуша, Василь Данилович |
|
| Subject |
решение обратной задачи
метод спектральной єллипсометрии роз`язання оберненої задачі метод спектральної еліпсометрії |
|
| Description |
In the present paper the possibility of application of spectral ellipsometry method for determination of parameters of near-surface layers amorphous metallic alloys is analysed. The selection criterion of incorrect solutions of inverse ellipsometry task is suggested which is based on the evaluation of the maximal caused by an error of the method deviation determined parameters.
|
|
| Publisher |
Издательство СумГУ
|
|
| Date |
2010-12-21T14:08:38Z
2010-12-21T14:08:38Z 2004 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Карпуша, В.Д. Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях [Текст] / В.Д. Карпуша, У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2004. - №10(69). - С. 28-35.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997 |
|
| Language |
ru
|
|