Особенности кристаллической структуры и электрических свойств пленочных материалов на основе Ti, Ni и Cо
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особенности кристаллической структуры и электрических свойств пленочных материалов на основе Ti, Ni и Cо
|
|
| Creator |
Токмань, Валерий Васильевич
Проценко, Иван Ефимович Чорноус, Анатолий Николаевич Tokman, Valerii Vasylovych Токмань, Валерій Васильович Chornous, Anatolii Mykolaiovych Чорноус, Анатолій Миколайович Проценко, Іван Юхимович Protsenko, Ivan Yukhymovych |
|
| Subject |
кристаллическая структура
электрические свойства пленочные материалы кристалічна структура електричні властивості плівкові матеріали crystal structure electrical properties film materials |
|
| Description |
Исследованы фазовый состав, температурная и размерная зависимость сопротивления и термического коэффициента сопротивления (ТКС) в двух- и трехслойных пленках на основе Ni, Со и Ti. Показано, что фазовый состав пленок соответствует ГП-Ti+ГЦК-Ni и ГП-Тi+ГП-Ni со следами интерметалличных фаз TiNi3 и Ti2Co. На зависимостях R(Т) и B(Т) имеют место особенности при характерных температурах. Несовпадение расчетных и экспериментальных значений ТКС можно связать с диффузионными процессами.
Tokman V.V., Protsenko I.Yu., Chornous A.M. Crystal structure and electrical properties especiallity of film materials based on Ti, Ni and Co. The phase structure, temperature and size dependence of resistance and temperatural resistance coefficient (TRC) in the two- and threelayer films based on Ni, Co and Ti was been researched.lt was pointed, that the film phase structure accordine with HCP-Ti+FCC-Ni and HCP-Ti+FCC-Co with tracks TiNi3 and Ti2Co intermetallide phase. Especiallity at the characteristic temperature have place on B(T) and R(T) dependences. Difference of experimental and calculated TRC values can be explained by inter diffusion processes. |
|
| Date |
2010-12-21T14:08:40Z
2010-12-21T14:08:40Z 2001 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Токмань, В.В. Особенности кристаллической структуры и электрических свойств пленочных материалов на основе Ti, Ni и Cо [Текст] / В.В. Токмань, И.Е. Проценко, А.Н. Чорноус // Тонкие пленки в электронике : сборник докладов 12-го Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике», 23-27 апреля, 2001 / Под ред. : А.Ф. Белянина, В.И. Лапшина, В.М. Шулаева. - Харьков, 2001. - С. 23-26.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/998 |
|
| Language |
ru
|
|