Фазообразование, диффузионные процессы и электрофизические свойства многослойных металлических пленочных структур
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Фазообразование, диффузионные процессы и электрофизические свойства многослойных металлических пленочных структур
|
|
Creator |
Проценко, Иван Ефимович
Хворост, Владимир Андреевич Чорноус, Анатолий Николаевич Khvorost, Volodymyr Andriiovych Хворост, Володимир Андрійович Чорноус, Анатолій Миколайович Chornous, Anatolii Mykolaiovych Проценко, Іван Юхимович Protsenko, Ivan Yukhymovych |
|
Subject |
диффузионные процессы
электрофизические свойства пленочная структура дифузійні процеси електрофізичні властивості плівкова структура diffusion processes electrophysical properties film composition |
|
Description |
Представлены литературные данные о теоретическом и экспериментальном исследовании электропроводности, температурного коэффициента сопротивления, коэффициента продольной тензочувствительности однослойных и многослойных пленок на основе переходных d-металлов. Рассмотрены вопросы о взаимной диффузии элементов и фазообразовании в пленочных системах металл/металл.
Protsenko I.Yu., Hvorost V.A., Chornous A.M. The formation of phases, diffusion processes and electrophysical properties of multi-layers films composition. The results of theoretical and experimental researches of electroconductivity, thermal coefficient of resistance and coefficient of longitudinal strain sensitivity of one- and multi-layers films on basis of transition d-metals was represented. The question of the interdiffusion and formation of phases in films composition metal/metal was considered. |
|
Date |
2010-12-21T14:40:36Z
2010-12-21T14:40:36Z 2002 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Проценко, И.Е. Фазообразование, диффузионные процессы и электрофизические свойства многослойных металлических пленочных структур [Текст] / И.Е. Проценко, В.А. Хворост, А.Н. Чорноус // Тонкие пленки в оптике и электронике : сборник докладов 14-го Международного симпозиума «Тонкие пленки в оптике и электронике», 22-27 апреля, 2002 / Под ред. : А.Ф. Белянина, В.И. Лапшина, В.М. Шулаева. - Харьков, 2002. - Часть 2. - С. 6-22.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1002 |
|
Language |
ru
|
|