Взаємозв`язок електрофізичних властивостей та фазового складу плівок титану
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Взаємозв`язок електрофізичних властивостей та фазового складу плівок титану
|
|
| Creator |
Соломаха, Володимир Анатолійович
Чорноус, Анатолій Миколайович Чорноус, Анатолий Николаевич Chornous, Anatolii Mykolaiovych Соломаха, Владимир Анатольевич Solomakha, Volodymyr Anatoliiovych |
|
| Subject |
електрофізичні властивості
фазовий склад плівки титану электрофизические свойства фазовый состав пленки титана electrophysical properties phase composition titanium thin films |
|
| Description |
У роботі досліджено фазовий склад, кристалічну структуру та електрофізичні властивості плівок титану після термообробки до 920 K. Показано, що на температурній залежності питомого опору мають місце особливості, пов`язані із процесами окислення у плівкових зразках, а температура окислення плівок є розмірно-залежною.
Solomakha V.A., Chornous A.M. Correlation between electrophysical properties and phase composition of titanium thin films. The phase composition, crystal structure and electrophysical properties of films of the Ti after annealing to 920 K are investigated. Is shown, that on temperature dependence of resistivity the features related to processes of an oxidation in thin film samples are represented, and the oxidation temperature is dimensional dependent. |
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2010-12-22T11:53:16Z
2010-12-22T11:53:16Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Соломаха, В.А. Взаємозв’язок електрофізичних властивостей та фазового складу плівок титану [Текст] / В.А. Соломаха, А.М. Чорноус // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №1. — С. 58-65.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1139 |
|
| Language |
uk
|
|