Исследование энергетических спектров вторичной ионной эмиссии металлов
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Исследование энергетических спектров вторичной ионной эмиссии металлов
|
|
| Creator |
Батурин, Владимир Андреевич
Еремин, С.А. Батурін, Володимир Андрійович Baturin, Volodymyr Andriiovych |
|
| Description |
The technique of research of energy spectra of the secondary ion emission is offered. The scheme of experimental installation to carry out a research in a wide range of energies of a primary ions beam (20-150 keV) is described. The installation is mounted on base of a high dose ion implanter. For the analysis of secondary ions on weights and energy a monopole mass-spectrometer MX7304A, equipped with a small-sized energy filter, is used. The energy spectra of monoatomic and cluster ions of copper, and also singly and doubly-charged ions of aluminum are received.
|
|
| Publisher |
Издательство СумГУ
|
|
| Date |
2010-12-24T14:18:11Z
2010-12-24T14:18:11Z 2004 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Батурин, В.А. Исследование энергетических спектров вторичной ионной эмиссии металлов [Текст] / В.А. Батурин, С.А. Еремин // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2004. - №10(69). - С. 225-230.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1591 |
|
| Language |
ru
|
|