Вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівок систем на основі Ti та Al, отриманих магнетронним методом
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівок систем на основі Ti та Al, отриманих магнетронним методом
|
|
| Creator |
Степаненко, Андрій Олександрович
Дехтярук, Леонід Васильович Чорноус, Анатолій Миколайович Дехтярук, Леонид Васильевич Dehtiaruk, Leonid Vasylovych Чорноус, Анатолий Николаевич Chornous, Anatolii Mykolaiovych Степаненко, Андрей Александрович Stepanenko, Andrii Oleksandrovych |
|
| Subject |
вплив температурної обробки
влияние температурной обработки influence of temperature treatment багатошарові плівкові системи многослойные пленочные системы multi-layered pellicle systems магнетронний метод метод магнетрона method of magnetron |
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2010-12-28T07:35:15Z
2010-12-28T07:35:15Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Степаненко, А.О. Вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівок систем на основі Ti та Al, отриманих магнетронним методом [Текст] / А.О. Степаненко, Л.В. Дехтярук, А.М. Чорноус // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №2. — С. 124-128.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1802 |
|
| Language |
uk
|
|