Дифузійні процеси та фазовий склад плівок на основі Cu, Ni i Co з тонким покриттям
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Дифузійні процеси та фазовий склад плівок на основі Cu, Ni i Co з тонким покриттям
|
|
| Creator |
Говорун, Тетяна Павлівна
Проценко, Сергій Іванович Шпетний, Ігор Олександрович Чорноус, Анатолій Миколайович Салтикова, А.І. Говорун, Татьяна Павловна Hovorun, Tetiana Pavlivna Chornous, Anatolii Mykolaiovych Чорноус, Анатолий Николаевич Shpetnyi, Ihor Oleksandrovych Шпетный, Игорь Александрович Проценко, Сергей Иванович Protsenko, Serhii Ivanovych |
|
| Subject |
плівки
пленки film |
|
| Description |
У роботі проведене комплексне дослідження дифузійних процесів, фазового складу і кристалічно структури плівок Cu і Co з тонким покриттям із Ni або SiO[2] та плівок Ni з тонким покриттям Cu або SiO[2]. Показано, що наявність покриття з металів і діоксиду кремнію не впливає на фазовий склад базисної плівки, хоча мають місце процеси взаємної дифузії атомів плівки і покриття. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/2378 |
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2011-01-04T09:12:18Z
2011-01-04T09:12:18Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Дифузійні процеси та фазовий склад плівок на основі Cu, Ni i Co з тонким покриттям [Текст] / Т.П. Говорун, С.І. Проценко, І.О. Шпетний та ін. // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №1. — С. 66-81.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/2378 |
|
| Language |
uk
|
|