Estimation of quality of plastins of silicon
DSpace at ONEU
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Estimation of quality of plastins of silicon
Оцінка якості пластин кремнія Оценка качества пластин кремния |
|
| Creator |
Kulinich, O.
Кулініч, О.А. Кулинич, О.А. |
|
| Subject |
silicon wafers
the quality of silicon semiconductor materials selective chemical etchants кремнієві пластини якість кремнію напівпровідникові матеріали селективні хімічні травители кремниевые пластины качество кремния полупроводниковые материалы селективные химические травители |
|
| Description |
Work is sanctified to the problem of study of quality of plastins of the silicon applied at making of wares of electronic technique. On quality of plastins of silicon large influence is rendered different family defects that arise up in plates in the process of their making. Described different kind of defects and the mechanism of their influence are set on electrophysics parameters, and and on quality of plastins of silicon. Work is intended not only for specialists and students of physical specialties but also for specialties working in other industries.
Робота присвячена проблемиі вивчення якості пластин з кремнію, застосовується при виготовлення виробів електронної техніки. За якістю пластин кремнію великий вплив роблять різні сімейні дефекти, які виникли в пластинах в процесі їх виготовлення. Описаний різного роду дефекти і механізм їх впливу встановлюються за параметрами електрофізики і за якістю пластин кремнію. Робота призначена не тільки для фахівців та студентів фізичних спеціальностей, а й для спеціальностей, що працюють в інших галузях промисловості. Работа посвящена проблеме изучения качества пластин из кремния, применяется при изготовления изделий электронной техники. По качеству пластин кремния большое влияние оказывают различные семейные дефекты, которые возникли в пластинах в процессе их изготовления. Описанные различного рода дефекты и механизм их влияния устанавливаются по параметрам электрофизики и и по качеству пластин кремния. Работа предназначена не только для специалистов и студентов физических специальностей, но и для специальностей, работающих в других отраслях промышленности. |
|
| Date |
2014-11-11T10:01:55Z
2014-11-11T10:01:55Z 2014 |
|
| Type |
Book
|
|
| Identifier |
Kulinich O. Estimation of quality of plastins of silicon: monograph / O. Kulinich, G. Brusenskaya, M. Glauberman. – 2014. – 82 p.
http://dspace.oneu.edu.ua/jspui/handle/123456789/2550 |
|
| Language |
en
|
|
| Publisher |
LAP LAMBERT Academic Publishing
|
|