Роль пластической деформации в получении нанокремния
DSpace at ONEU
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Роль пластической деформации в получении нанокремния
Роль пластичної деформації в отриманні нанокремнія The role of plastic deformation in obtaining nanostructure silicon |
|
| Creator |
Кулинич, О.А.
Кулініч, О.А. Kulinich, O. |
|
| Subject |
наноструктурированный кремний
пластины монокристаллического кремния химические избирательные травители электрохимическое травление наноструктуровані кремній пластини монокристалічного кремнію хімічні виборчі травители електрохімічне травлення nanostructured silicon a wafer of monocrystalline silicon chemical electoral stain electrochemical etching |
|
| Description |
В результате высокотемпературного окисления Si в приповерхностных слоях образуется сложная дефектная область. Стравливание SiO2 и обработка поверхности избирательными травителями позволяет получать наноструктурированный Si с заданной топологией.
В результаті високотемпературного окислення Si в приповерхневих шарах утворюється складна дефектна область. Підбурювання SiO2 і обробка поверхні виборчими травителями дозволяє отримувати наноструктуровані Si із заданою топологією. In the high-temperature oxidation of Si in the surface layers formed complex of the defective area. The SiO2 etching and surface treatment of the electoral stain allows to obtain nanostructured Si with the given topology. |
|
| Date |
2014-11-11T11:29:20Z
2014-11-11T11:29:20Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Кулинич О. А. Роль пластической деформации в получении нанокремния / О. А. Кулинич, И. Яцунский, М. Глауберман // Технология конструирование в электронной аппаратуре. – 2011. - № 1–2. - С. 22–24.
http://dspace.oneu.edu.ua/jspui/handle/123456789/2557 |
|
| Language |
ru
|
|