Влияние усреднения энергии распыленных атомов на стационарность квазиравновесной конденсации
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние усреднения энергии распыленных атомов на стационарность квазиравновесной конденсации
|
|
| Creator |
Мокренко, Александр Анатольевич
Мокренко, Олександр Анатолійович Mokrenko, Oleksandr Anatoliiovych Косминская, Юлия Александровна Космінська, Юлія Олександрівна Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Перекрестов, Вячеслав Иванович Перекрестов, Вячеслав Іванович Perekrestov, Viacheslav Ivanovych |
|
| Subject |
квазірівноважних конденсація
квазиравновесная конденсация quasi-equilibrium condensation |
|
| Description |
У роботі показано, що результат квазірівноважної конденсації в накопичувальній системі плазма-конденсат залежить від стаціонарності технологічного процесу, яка в загальному випадку визначається постійністю пересичення, а також розкидом енергії розпилених атомів. На підставі модельних уявлень з використанням методу Монте-Карло встановлено ефект усереднення енергій розпилених атомів при їх русі в плазмі підвищеного тиску. На основі експериментальних результатів, пов’язаних з отриманням конденсатів алюмінію в умовах близьких до термодинамічної рівноваги, встановлено зменшення дисперсності плівок при підвищенні тиску робочого газу більше 2.4 Па, що підтверджує стаціонарність технологічного процесу.
|
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2011-03-10T08:54:03Z
2011-03-10T08:54:03Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Мокренко, А.А. Влияние усреднения энергии распыленных атомов на стационарность квазиравновесной конденсации [Текст] / А.А. Мокренко, Ю.А. Косминская, В.И. Перекрестов // Журнал нано- та електронної фізики. — 2010. — Т.2, №3. — С.40-53.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3627 |
|
| Language |
ru
|
|