Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
|
|
| Creator |
Glazunov, G.P.
Andreev, A.A. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Stolbovoy, V.A. |
|
| Subject |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
|
|
| Description |
Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the different character of erosion behavior. Досліджено ерозію покриттів з нітриду титану, осаджених на підкладки з неіржавіючої сталі двома різними методами вакуумно-дугової технології: з подачею і без подачі високовольтних імпульсів негативної полярності на підкладку. Пропонується і обговорюється фізичний механізм для пояснення різного характеру ерозійної поведінки. Исследована эрозия покрытий из нитрида титана, осажденных на подложки из нержавеющей стали двумя различными методами вакуумно-дуговой технологии: с подачей и без подачи высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку. Предлагается и обсуждается физический механизм для объяснения различного характера эрозионного поведения. |
|
| Date |
2016-01-05T18:29:17Z
2016-01-05T18:29:17Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
1562-6016 PACS: 52.40.Hf http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90894 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|