Применение новых тест-объектов для юстировки растрового электронного микроскопа
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Применение новых тест-объектов для юстировки растрового электронного микроскопа
|
|
| Creator |
Соколов, Сергей Викторович
Соколов, Сергій Вікторович Sokolov, Serhii Viktorovych Довгошея, Д.А. |
|
| Subject |
электронный микроскоп
нанообъект електронний мікроскоп нанооб`єкт electron microscope nanoobject |
|
| Description |
Целью данной работы является исследование тест-объекта для определения разрешающей способности растрового электронного микроскопа за счет формирования его структуры в виде участков ажурной микросетки и сплошной пленки с нанесенными на них равномерно расположенными шарообразными частицами олова, которые отличаются от других тем, что полученная структура имеет размеры от 10 мкм до 2 нм и структурные элементы с высоким контрастом из-за различных эмиссионных свойств применяемых материалов и условий формирования изображения, что позволяет определить разрешающую способность в диапазоне увеличений от 500 до 100000 крат. Наличие шаров также позволяет контролировать правильность построения изображения в направлении строки и кадра, исключает необходимость корректировки масштабных искажений изображения при наклоне образца. Таким образом получаем островковые сферические частицы олова, закрепленных на угольной микросетке с размером ячеек от 0,2 мкм до 10 мкм. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3960 |
|
| Publisher |
Изд-во СумДУ
|
|
| Date |
2011-03-18T12:37:07Z
2011-03-18T12:37:07Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Соколов, С.В.
Применение новых тест-объектов для юстировки растрового электронного микроскопа [Текст] / С.В. Соколов, Д.А. Довгошея
// Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : 21-24 квітня 2009 р. - Суми : СумДУ, 2009. - С. 43.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3960 |
|
| Language |
ru
|
|