Закономерности структурообразования слоев Al вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Закономерности структурообразования слоев Al вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат
|
|
| Creator |
Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Перекрестов, Вячеслав Иванович Перекрестов, Вячеслав Іванович Korniushchenko, Hanna Serhiivna Корнющенко, Анна Сергеевна Корнющенко, Ганна Сергіївна Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Косминская, Юлия Александровна Космінська, Юлія Олександрівна |
|
| Subject |
система плазма-конденсат
пористая структура |
|
| Description |
Предложен принципиально новый технологический подход к формированию пористых структур металлов на изотропных подложках при конденсации обратных диффузионных потоков планарного магнетрона на постоянном токе. Проанализированы физические основы работы самосогласованных распылительных систем. При помощи растровой электронной микроскопии выявлены условия формирования таких основных вариантов пористости, как слабосвязанные между собой микро- и нанокристаллы, а также трехмерные лабиринтные структуры. Установлено, что необходимыми основными предпосылками порообразования являются стационарность процесса и близость к фазовому равновесию в системе плазма-конденсат.
|
|
| Publisher |
Физика твердого тела
|
|
| Date |
2011-03-21T09:14:34Z
2011-03-21T09:14:34Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Перекрестов, В.И. Закономерности структурообразования слоев Al вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат [Текст] / В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко, Ю.А. Косминская // Физика твердого тела. — 2008. — том 50. — вып. 7. — с. 1304-1311
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4078 |
|
| Language |
ru
|
|