Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків
|
|
| Creator |
Коломієць, В.В.
Наконечний, Д.М. Velykodnyi, Dmytro Volodymyrovych Великодный, Дмитрий Владимирович Великодний, Дмитро Володимирович |
|
| Subject |
тонкоплівкові металеві тензодатчики
тонкопленочные металлические тензодатчики |
|
| Description |
Розроблений автоматизований комплекс призначений для серійного виробництва тонкоплівкових тензодатчиків з коефіцієнтом тензочутливості до 20 одиниць методом термічного випаровування у вакуумі на полістироловій підкладці. Як чутливі елементи тензодатчиків можуть виступати двошарові плівки Cu/Cr з товщиною окремих шарів до 30 нм. Для вимірювання товщини плівок застосовується метод кварцового резонатора, який при реалізації двокварцової системи дозволяє встановити необхідну швидкість конденсації до початку конденсації плівки на підкладку та контролювати її товщину безпосередньо під час експерименту. Процес конденсації плівки контролюється за допомогою екрану, який закриває підкладку та пластину кварцу і приводиться в рух електромагнітом. Дана система дозволяє отримати в автоматичному режимі тонкоплівкові зразки заданої товщини з точністю +- 1 нм. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064 |
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2011-03-21T09:08:48Z
2011-03-21T09:08:48Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Коломієць, В.В. Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків [Текст] / В.В. Коломієць, Д.М. Наконечний, Д.В. Великодний // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 96-97.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064 |
|
| Language |
uk
|
|