Проявление селективных процессов при формировании слоев алюминия вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Проявление селективных процессов при формировании слоев алюминия вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат
|
|
| Creator |
Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Перекрестов, Вячеслав Иванович Перекрестов, Вячеслав Іванович Korniushchenko, Hanna Serhiivna Корнющенко, Анна Сергеевна Корнющенко, Ганна Сергіївна Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Косминская, Юлия Александровна Космінська, Юлія Олександрівна |
|
| Subject |
самоорганизованная распылительная система
система плазма-конденсат |
|
| Description |
Изучены механизмы порообразования в конденсатах алюминия при использовании принципиального нового технологического подхода, основанного на применении самоорганизованных распылительных систем. Установлено, что основные технологические параметры порообразования определяются близостью к фазовому равновесию в системе плазма-конденсат и преобладающим вкладом в поатомную сборку конденсата структурной или полевой селективностей.
|
|
| Publisher |
Журнал технической физики
|
|
| Date |
2011-03-21T11:57:15Z
2011-03-21T11:57:15Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Перекрестов, В.И. Проявление селективных процессов при формировании слоев алюминия вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат [Текст] / В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко, Ю.О. Косминская // Журнал технической физики. —2008. —том 78. —вып.10. —с. 117-124
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4130 |
|
| Language |
ru
|
|