Анализ применения сфокусированных пучков заряженных частиц в производстве нанокомпонент
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Анализ применения сфокусированных пучков заряженных частиц в производстве нанокомпонент
|
|
| Creator |
Vorobiov, Hennadii Saveliiovych
Воробьев, Геннадий Савельевич Воробйов, Геннадій Савелійович Пономарёва, А.А. |
|
| Subject |
сфокусированные пучки
сфокусовані пучки focused beams |
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2011-03-22T08:26:57Z
2011-03-22T08:26:57Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Воробьёв, Г.С. Анализ применения сфокусированных пучков заряженных частиц в производстве нанокомпонент [Текст] / Г.С. Воробьёв, А.А. Пономарёва // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 136.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4156 |
|
| Language |
ru
|
|