Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине
|
|
| Creator |
Sokolov, Serhii Viktorovych
Соколов, Сергей Викторович Соколов, Сергій Вікторович Марченко, Т.В. |
|
| Subject |
метод ионной имплантации
метод іонної імплантації ion implantation |
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2011-03-22T11:02:05Z
2011-03-22T11:02:05Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Соколов, С.В. Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине [Текст] / С.В. Соколов, Т.В. Макаренко // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 166.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4228 |
|
| Language |
ru
|
|