О возможности формирования монокристаллических конденсатов алюминия на изотропных подложках при помощи самоорганизованных ионных распылителей
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
О возможности формирования монокристаллических конденсатов алюминия на изотропных подложках при помощи самоорганизованных ионных распылителей
|
|
Creator |
Перекрестов, Вячеслав Іванович
Перекрестов, Вячеслав Иванович Perekrestov, Viacheslav Ivanovych Корнющенко, Ганна Сергіївна Корнющенко, Анна Сергеевна Korniushchenko, Hanna Serhiivna Космінська, Юлія Олександрівна Косминская, Юлия Александровна Kosminska, Yuliia Oleksandrivna |
|
Subject |
ионные распылители
монокристаллический конденсат |
|
Description |
Предложен принципиально новый технологический подход самоорганизации монокристаллического состояния Al на изотропных подложках при стационарной конденсации обратных диффузионных потоков планарного магнетрона. Проанализированы функциональные возможности самоорганизованных ионных распылителей.
|
|
Publisher |
Письма в ЖТФ
|
|
Date |
2011-03-23T09:58:24Z
2011-03-23T09:58:24Z 2006 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Перекрестов, В.И. О возможности формирования монокристаллических конденсатов алюминия на изотропных подложках при помощи самоорганизованных ионных распылителей [Текст] / В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко, Ю.А. Косминская // Письма в ЖТФ. — 2006. — том 32. — вып. 20. — с. 1-6
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4361 |
|
Language |
ru
|
|