Запис Детальніше

О возможности формирования монокристаллических конденсатов алюминия на изотропных подложках при помощи самоорганизованных ионных распылителей

Electronic Archive of Sumy State University

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title О возможности формирования монокристаллических конденсатов алюминия на изотропных подложках при помощи самоорганизованных ионных распылителей
 
Creator Перекрестов, Вячеслав Іванович
Перекрестов, Вячеслав Иванович
Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Корнющенко, Ганна Сергіївна
Корнющенко, Анна Сергеевна
Korniushchenko, Hanna Serhiivna
Космінська, Юлія Олександрівна
Косминская, Юлия Александровна
Kosminska, Yuliia Oleksandrivna
 
Subject ионные распылители
монокристаллический конденсат
 
Description Предложен принципиально новый технологический подход самоорганизации монокристаллического состояния Al на изотропных подложках при стационарной конденсации обратных диффузионных потоков планарного магнетрона. Проанализированы функциональные возможности самоорганизованных ионных распылителей.
 
Publisher Письма в ЖТФ
 
Date 2011-03-23T09:58:24Z
2011-03-23T09:58:24Z
2006
 
Type Article
 
Identifier Перекрестов, В.И. О возможности формирования монокристаллических конденсатов алюминия на изотропных подложках при помощи самоорганизованных ионных распылителей [Текст] / В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко, Ю.А. Косминская // Письма в ЖТФ. — 2006. — том 32. — вып. 20. — с. 1-6
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4361
 
Language ru