Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Гордиенко, Ю. Е.
Ларкин, С. Ю. Мельник, С. И. Слипченко, Н. И. |
|
| Date |
2012-11-16T11:10:16Z
2012-11-16T11:10:16Z 2012 |
|
| Identifier |
Гордиенко, Ю. Е. Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, С. И. Мельник, Н. И. Слипченко // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 22-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2012), 10-14 сент. 2012 г. - Севастополь : Вебер, 2012. - Т. 2. - С. 621-622.
http://hdl.handle.net/123456789/364 |
|
| Description |
Рассмотрен алгоритм восстановления рас- пределения по глубине электрических свойств полупроводниковых материалов в методе микроволнового сканирования учился. Для анализа полученных данных используется итерационный метод последовательных возмущений. |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Вебер
|
|
| Subject |
полупроводниковые материалы
микроволновое сканирование микроволновая сканирующая микроскопия микроволновая сканирующая томография |
|
| Title |
Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии
|
|
| Type |
doclad
|
|