Обработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопии
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Гордиенко, Ю. Е.
Карнаушенко, В. П. Чхотуа, М. С. Е. |
|
| Date |
2012-12-17T11:38:16Z
2012-12-17T11:38:16Z 2011 |
|
| Identifier |
Гордиенко, Ю. Е.Обработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопии / Ю. Е. Гордиенко // Функциональная база наноэлектроники : сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., 30 сент. – 3 окт. 2011 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2011. – С. 254–257.
http://hdl.handle.net/123456789/560 |
|
| Description |
Using of scanning probe microscopes for material analysis is the prospective area of modern microelectronics. In present work actual questions of scanning microwave microscope signal processing are considered. Микроволновая сканирующая микроскопия (МСМС) является прогрессивным инструментом для решения задач диагностики характеристик материалов микро- и наноэлектроники. Суть метода заключается в измерении интегральных характеристик СВЧ-резонатора, который имеет высокую чувствительность к параметрам исследуемого объекта, внесенного в активную зону резонатора. |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|
| Subject |
наноэлектроника
медицинская техника микроволновая микроскопия СВЧ-резонаторы |
|
| Title |
Обработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопии
|
|
| Type |
Article
|
|