Разработка методик и устройств контроля структурного совершенства кремниевых структур
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Оксанич, А. П.
Притчин, С. Э. Седин, Е. А. |
|
| Date |
2013-10-31T09:34:51Z
2013-10-31T09:34:51Z 2011 |
|
| Identifier |
Оксанич, А. П. Разработка методик и устройств контроля структурного совершенства кремниевых структур / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, Е. А. Седин // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 155. – С. 29–33.
http://hdl.handle.net/123456789/864 |
|
| Description |
Предлагаются методики и устройства контроля структурного совершенства кремниевых эпитаксиальных структур. Показывается, что деформации структур, которые возникают в процессе шлифовки или вследствие значительных температурных градиентов, приво- дят к появлению внутренних напряжений и областей с высокой плотностью дислокаций. Предполагаемые авторами методы и устройства позволяют контролировать величину деформации КЭС и их зависимость от кристаллографических направлений. Делается вывод о том, что высокие температурные градиенты приводят к потери устойчивости КЭС и образованию у неё «антикластического» изгиба. |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|
| Subject |
кремниевые эпитаксиальные структуры
расчет внутренних напряжений |
|
| Title |
Разработка методик и устройств контроля структурного совершенства кремниевых структур
|
|