Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Загирняк, М. В.
Оксанич, А. П. Петренко, В. Р. Притчин, С. Э. Тербан, В. А. |
|
| Date |
2013-10-31T09:49:20Z
2013-10-31T09:49:20Z 2011 |
|
| Identifier |
Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия / М. В. Загирняк, А. П. Оксанич, В. Р. Петренко и др. // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 155. – С. 33–42.
http://hdl.handle.net/123456789/865 |
|
| Description |
На основе использования подхода Бокса-Дженкинса к синтезу моделей стохастичес- ких линейных динамических процессов разработана АRМАХ-модель процесса вытягива- ния монокристаллических слитков полу-изолирующего арсенида галлия по технологии с жидкостной герметизацией, связывающая вариации температуры фонового нагревателя с вариациями диаметра слитка. Полученная модель применяется для синтеза оптимального прогнозного регулятора процесса выращивания на этапе вытягивания цилиндрической части слитка. Результаты моделирования работы ре-гулятора подтверждают его работоспособность. |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|
| Subject |
арсенид галлия
производство полупроводниковых материалов |
|
| Title |
Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия
|
|