Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Оксанич, А. П.
Шевченко, И. В. Краснопольская, Ю. А. |
|
| Date |
2013-11-05T12:39:22Z
2013-11-05T12:39:22Z 2011 |
|
| Identifier |
Оксанич, А. П. Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия / А. П. Оксанич, И. В. Шевченко, Ю. А. Краснопольская // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 156. – С. 16–26.
http://hdl.handle.net/123456789/876 |
|
| Description |
Разрабатывается математическая модель – виртуальный датчик температуры фонового нагревателя, используемого для формирования оптимальных тепловых условий в зоне, примыкающей к фронту кристаллизации при выращивании слитков полуизолирующего GaAs по LEC-технологии. Выполняется проверка адекватности модели в ходе экспериментов на различных стадиях процесса выращивания. Мо-дель используется как составная часть ин-формационной технологии мониторинга качества процесса выращивания монокристаллов полу-проводников. |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|
| Subject |
выращивание монокристаллов полупроводников
мониторинг технологического процесса |
|
| Title |
Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия
|
|