Об улучшении чувствительности кремниевых фотосенсоров
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Костылев, В. П.
Слусар, Т. В. Суший, А. В. Черненко, В. В. |
|
| Date |
2014-09-19T10:23:47Z
2014-09-19T10:23:47Z 2012 |
|
| Identifier |
Об улучшении чувствительности кремниевых фотосенсоров / В. П. Костылев, Т. В. Слусар и др. // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2012. – Т. 11, № 3. – С. 440–441.
http://hdl.handle.net/123456789/1331 |
|
| Description |
В работе исследованы возможности улучшения характеристик кремниевых фотосенсоров класси- ческой конструкции. Экспериментально установлено, что тонкий поверхностный слой сильнолегированного эмиттера в таких сенсорах имеет нарушенную структуру с высоким уровнем рекомбинационных потерь. В результате этого фотосенсоры имеют большие величины обратных темновых токов, низкую коротковолновую чувствительность, недостаточно высокие значения фотоэлектри- ческих параметров. Показано, что удаление нарушенного слоя посредством применения циклов cтравливания-выращивания слоя окисла на поверхности эмиттера в процессе изготовления фотосенсоров является эффективным методом уменьшения рекомбинационных потерь и позволяет су- щественно повысить их коротковолновую и пороговую чувствительность. The possibilities of improving of classic design silicon photosensor characteristics are investigated in the paper. It is shown that the effective method to reduce recombination losses and increase threshold sensitivity is using cycles of etching-growing of the oxide layer from the emitter surface during the production of photosensors, which allows to substantially increase short-wavelength photo sensitivity and operation efficiency. |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|
| Subject |
фотосенсор
фоточувствительность рекомбинационные потери спектральная характеристика обратный темновой ток photosensor photosensitivity recombination losses |
|
| Title |
Об улучшении чувствительности кремниевых фотосенсоров
|
|
| Type |
Article
|
|