Разработка графа классификации микроэлеткромеханических систем
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Невлюдов, И. Ш.
Бортникова, В. О. |
|
| Date |
2014-12-09T12:25:11Z
2014-12-09T12:25:11Z 2014 |
|
| Identifier |
Невлюдов, И. Ш. Разработка графа классификации микроэлеткромеханических систем / И. Ш. Невлюдов, В. О. Бортникова // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 746-747.
http://hdl.handle.net/123456789/1701 |
|
| Description |
Предложена классификация микроэлеткромеха-нических систем для решения задач автоматизации проектирования технологических процессов изготовления. Выделены основные пять групп: простые устройства, исполнительные механизмы, элементы сопря-жения конструкций микроэлектромеханических систем, механизмы воздействия; преобразова-тели и генераторы. The classification of MEMS for solving the computer-aided design problems of manufacturing process is proposed. There are five basic groups: simple devices, actuators, MEMS design coupling elements, mechanisms of action; transducers and generators.
|
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Вебер
|
|
| Subject |
классификация микроэлеткромеханических систем
интегральные схемы преобразователи и генераторы |
|
| Title |
Разработка графа классификации микроэлеткромеханических систем
|
|
| Type |
Article
|
|