Запис Детальніше

Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях

Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Creator Гордиенко, Ю. Е.
Ларкин, С. Ю.
Слипченко, Н. И.
Щербак, Е. Л.
 
Date 2014-12-09T13:41:01Z
2014-12-09T13:41:01Z
2014
 
Identifier Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 773-774.
http://hdl.handle.net/123456789/1707
 
Description Теоретически исследованы особенности пространственно-временного установления температуры при высоколокальном СВЧ разогреве полупроводникового объекта с помощью ближнеполевого микромодификатора. Предложен метод, который частично снимает проблему удержания заданной температуры и локальности путем применения комбиниро-
ванного импульсного питания СВЧ микромодификатора. The present paper concerns theoretically investigated features of spatiotemporal establishment of the temperature at the local high microwave heating of semiconductor object using a near-field micromodifier. We propose a method that partially allows withdrawing a problem of the required temperature and locality retention through by means of the combined pulsed microwave power supply of the micromodifier.
 
Language ru
 
Publisher Вебер
 
Subject СВЧ микромодификатор
комбинированное импульсное питание
сканирующая микроволновая микроскопия
 
Title Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях
 
Type Article