Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Гордиенко, Ю. Е.
Ларкин, С. Ю. Слипченко, Н. И. Щербак, Е. Л. |
|
| Date |
2015-06-25T10:30:34Z
2015-06-25T10:30:34Z 2014 |
|
| Identifier |
Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, Н. И. Слипченко, Е. Л. Щербак // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Харьков, 2014. – Вып. 177. – С. 98 – 104.
http://hdl.handle.net/123456789/2332 |
|
| Description |
В настоящее время практическое использование сверхвысокочастотного (СВЧ) диапазона электромагнитных колебаний сравнимо с оптическим. Однако только недавно стала развиваться область СВЧ техники, связанная с ближнеполевым взаимодействием СВЧ источника с объектами. Особо перспективными ее направлениями являются сканирующая микроволновая микроскопия (СММ) [1, 2] и СВЧ микротехнологии (СМТ). Последние еще только устанавливаются несмотря на известные достижения СВЧ нагрева крупноразмерных объектов.
|
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|
| Subject |
СВЧ техника
СВЧ разогрев СВЧ микротехнологии |
|
| Title |
Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков
|
|
| Type |
Article
|
|