Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов
|
|
| Creator |
Еремин, С.А.
Батурін, Олексій Анатолійович Батурин, Алексей Анатолиевич Baturin, Oleksii Anatoliiovych |
|
| Subject |
пучок ионов
пучок іонів ion beam распыление розпорошення spraying вторичные нейтралы вторинні нейтрали secondary neutral кластер cluster масс-спектрометр mass-spectrometer |
|
| Description |
Стаття присвячена мас-спектрометричному дослідженню процесів іонного розпилення в широкому інтервалі енергій первинних іонів. З цією метою розроблена конструкція мас-спектрометра вторинних нейтралей, що на відміну від традиційних установок даного типу побудована на базі іонного імплантера, що генерує пучки іонів з енергією до 170 кеВ і щільністю струму на мішені до 1 мА/см2. Проведено комп'ютерне моделювання траєкторій електронів і позитивних іонів у системі реєстрації розпилених частинок і визначені оптимальні параметри системи для трьох режимів роботи установки. Проведено дослідження емісії розпилених нейтральних кластерів міді, а також процесів переважного розпилення ізотопів молібдену при різних параметрах пучка первинних іонів аргону.
|
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2011-05-20T07:19:02Z
2011-05-20T07:19:02Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Батурин, В.А. Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов [Текст] / В.А. Батурин, С.А. Еремин // Журнал нано- та електронної фізики. — 2009. — Т.1, №1. — С.80-103.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289 |
|
| Language |
ru
|
|