Дослідження величин спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ DSM-960A (CARL Zeiss, Німеччина) та точності їх врахування
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Дослідження величин спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ DSM-960A (CARL Zeiss, Німеччина) та точності їх врахування
|
|
| Creator |
Іванчук, О.
Барфельс, Т. Гееґ, Я. Геґєр, В. |
|
| Description |
По результатам измерений цифровых РЭМ- изображений тест-сетки с разрешением 1425лин / мм, полученных на цифровом РЭМ DSM-960A (Carl Zeiss, Германия, определены их масштабные и геометрические искажения в диапазоне увеличений РЭМ от 1000х до 20000. Установлено, что масштабным искажениям цифровых РЭМ-изображений, полученных на этом типе РЭМ, свойственен систематический характер, независимо от величины увеличения они составляют примерно -2 % вдоль оси х снимка и -4 % вдоль оси у снимка. Величины геометрических искажений РЕМ-изображений значительны, возрастают с увеличением масштаба, также имеют систематический характер и могут быть учтены с помощью полиномиальной аппроксимации. For measurements of digital SEM images of test grid with a resolution 1425 lin/mm taken on a digital SEM DSM-960A (Carl Zeiss, Germany), are defined by their scale and geometric distortion of the SEM magnification range from 1000h to 20000h. Found that the large-scale distortions of digital SEM images obtained in this type of SEM is systematic, regardless of the increase and is approximately -2 % along the x-axis image and -4 % along the y-axis with a picture. The geometrical distortion SEM images are significant, increase with increasing scale, as is systematic and can be considered by polynomial approximation. |
|
| Date |
2013-06-26T12:10:37Z
2013-06-26T12:10:37Z 2013 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Дослідження величин спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ DSM-960A (CARL Zeiss, Німеччина) та точності їх врахування / О. Іванчук, Т. Барфельс, Я. Гееґ, В. Геґєр // Геодезія, картографія і аерофотознімання : міжвідомчий науково-технічний збірник / Міністерство освіти і науки, молоді та спорту України, Національний університет "Львівська політехніка" ; відповідальний редактор К. Р. Третяк. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – Випуск 78. – С. 120–126. – Бібліографія: 13 назв.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/20075 |
|
| Language |
ua
|
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Publisher |
Видавництво Львівської політехніки
|
|