Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості
|
|
| Creator |
Солован, М. М.
Брус, В. В. Мар'янчук, П. Д. Кафанов, А. М. |
|
| Date |
2014-02-04T13:47:09Z
2014-02-04T13:47:09Z 2013 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості / М. М. Солован, В. В. Брус, П. Д. Мар'янчук, А. М. Кафанов // Шістнадцята щорічна відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки з проблем електроніки та інфокомунікаційних систем : програма та тези доповідей, 2–4 квітня 2013 року, Львів / Міністерство освіти і науки, молоді та спорту України, Національний університет "Львівська політехніка", Інститут телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – С. 70. – Бібліографія: 1 назва.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/23072 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Видавництво Львівської політехніки
|
|